Aerotech AirGlide™高精度空气轴承直线电机往复平台

 
zPictures/Product_224.jpg	 	AirGlide?高精度空气轴承直线电机往复平台
AirGlide高精度空气轴承直线电机往复平台为**平滑空气轴承PhotonBeamTM高级光纤定位系统，采用DPS*特的 clog-free 空气轴承技术，可以实现较其精确的速度控制，适合晶片扫描、晶片检查、薄膜厚度测量、CD测量、存储器维修、显微镜扫描探测、光纤布拉格写入等应用。
Bragg(布拉格)光纤光栅系统。
不加激光干涉仪反馈分辨率可达31 皮米(picometers)。
定位跟踪精度达5纳米(nanometers)。
较小的低速波动，扫描应用的理想选择。
高精度空气轴承 。
较好的抗偏摆和滚摆刚度，提供良好的稳定性。
±0.5μm的平面度和直线度。